大理石平臺(tái)采用自然形成的石料通過人工精研從而達(dá)到理想精度。用途廣泛是大理石平臺(tái)的一大特點(diǎn),在實(shí)驗(yàn)室實(shí)驗(yàn)、檢測(cè)室檢測(cè)及各種平面度檢測(cè)工作中都能看到它的身影。今兒咱們介紹的是大理石平臺(tái)的另一用途,用在大理石氣浮平臺(tái)的制作中。
大理石平臺(tái)加裝氣浮裝置后,就是氣浮平臺(tái)了。氣浮測(cè)量裝置屬于二自由度龍門式測(cè)量裝置。運(yùn)動(dòng)滑塊裝配在大理石導(dǎo)軌上,滑塊內(nèi)裝有多孔質(zhì)氣浮軸承,氣體通過空氣過濾器和精密減壓閥提供給氣浮軸承保證滑塊在導(dǎo)軌上基本無摩擦運(yùn)行。
大理石氣浮平板的精度要求是比較高的,為了進(jìn)一步提高大理石平臺(tái)的光潔度及精度,我們需要對(duì)大理石平面進(jìn)行多次研磨。研磨前要進(jìn)行研磨平板、磨料的選擇。生產(chǎn)過程中用電子水平儀多次進(jìn)行測(cè)量,并反復(fù)研磨,這樣加工出來的大理石平臺(tái)平面度會(huì)有明顯提高。環(huán)境對(duì)大理石平臺(tái)的研磨及檢測(cè)也有影響,這種影響一般是指溫度和振動(dòng)對(duì)其影響。在精度加工中和測(cè)量過程中對(duì)溫度和振動(dòng)的要求比較高。經(jīng)過實(shí)驗(yàn)分析,采用同一種測(cè)量方法對(duì)大理石平臺(tái)進(jìn)行檢驗(yàn),在恒溫及常溫下檢測(cè),平面度相差3um。